PCB 高频ICP压力传感器 113B28
16800.00
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牛津仪器 Plasma100 PECVD 等离子体原子层离子束刻蚀沉积系统
品牌：Oxford Instruments
型号：Plasma100 PECVD
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技术参数
PlasmaPro 100 PECVD 等离子体、原子层、离子束刻蚀沉积系统 - 牛津仪器
设计PECVD工艺模式的目的是要在控制薄膜性能，如折射率、应力、电学特性和湿法化学刻蚀速率的前提下，生产均匀性好且沉积速率高的薄膜。
- 高质量的薄膜，高产量和出色的均匀性
- 电极的适用温度范围宽
- 兼容200mm以下所有尺寸的晶圆
- 可快速更换硬件以适用于不同尺寸的晶圆
- 成本低且易于维护
- 电阻丝加热电极，最高温度可达400°C或1200°C
- 实时监测清洗工艺， 并且可自动停止工艺
通过均匀的高导通路径连接的腔室，将反应粒子输送到衬底
在维持低气压的同时，允许使用较高的气体通量
高度可变的下电极
充分利用等离子体的三维特性，在优秀的高度条件下，衬底厚度最大可达10mm
电极的温度范围宽（-150°C至+ 400°C），可通过液氮，液体循环制冷机或电阻丝加热
可选的吹排及液体更换单元可自动进行模式切换
由再循环制冷机单元供给的液体控温的电极
出色的衬底温度控制
射频功率加载在喷头上，同时优化气体输送
提供具有低频/射频切换功能的均匀的等离子体工艺，可精确控制薄膜应力
ICP源尺寸为65mm，180mm，300mm
确保200mm晶圆的工艺均匀性
高抽气能力
提供了更宽的工艺气压窗口
晶圆压盘与背氦制冷
更好的晶片温度控制
产品核心优势
卓越的性能表现
采用最新一代数字信号处理技术，提供更高的采样率和带宽，确保测量结果的准确性和可靠性。先进的噪声抑制算法让您能够捕获更细微的信号细节。
先进的触发系统
支持多种触发模式，包括边沿触发、脉宽触发、斜率触发、视频触发等，满足各种复杂信号的捕获需求。
丰富的测量功能
内置超过30种自动测量功能，包括电压、时间、频率、相位等参数的一键测量，大大提高工作效率。
智能软件分析
配备专业的PC端分析软件，支持远程控制、数据采集和高级分析功能，方便进行数据后处理和报告生成。
人性化操作界面
10.1英寸高清电容触摸屏，配合直观的用户界面设计，让操作更加简单流畅，大幅提升使用体验。
广泛应用领域
消费电子
广泛应用于手机、平板电脑、智能穿戴设备等消费电子产品的研发、生产和质量检测，确保产品性能符合设计要求。
汽车电子
用于汽车电子控制系统、传感器、车载通信等领域的测试与验证，保障汽车电子系统的稳定性和安全性。
通信与物联网
支持无线通信模块、物联网设备、射频电路等的测试，确保通信质量和数据传输的可靠性。
教育与科研
是高校实验室、科研机构进行电子工程教学和科学研究的理想工具，帮助培养创新型工程技术人才。
航空航天与国防
满足航空航天和国防领域对高精度、高可靠性测试设备的严苛要求，保障关键系统的正常运行。
专业技术支持
我们提供的服务
- 免费安装调试：专业工程师上门安装、调试和操作培训
- 三年整机质保：非人为损坏免费维修或更换
- 终身维护服务：超过质保期仅收取成本费用
- 24小时技术热线：随时解答您的技术疑问
- 定期校准服务：提供专业的计量校准服务
- 软件升级服务：终身免费固件升级
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